华真科技的团队比预期来得更快。
杨波总工亲自带队,五名核心工程师,拎着沉重的笔记本电脑和塞满图纸的行李箱,在次日傍晚就赶到了燧人科技。没有寒暄,直接在会议室里摊开了初步设计方案。
杨波五十岁上下,头发花白,戴着一副厚厚的眼镜,手指关节粗大,说话带着明显的江浙口音,但语速快且精准:“陆总,林总监,感谢信任。时间紧,客套话省了。这是我们基于林总监提供的工艺需求,赶出来的概念设计。”
投影幕布上出现复杂的设备三维图。“传统磁控溅射,靶材固定,基片旋转或平移。你们要的,是多元素共沉积且梯度可编程。我们提出的方案是:双旋转靶柱配合智能遮蔽系统。”
他切换画面,两个巨大的柱状靶材示意图出现,表面分割成不同的材料区域。“柱状靶可以自转,同时整体还能公转。配合精密设计的可移动物理遮板,通过控制遮板开口位置、大小以及靶柱的旋转速度,理论上可以在基片表面实现任意预设的元素浓度梯度分布。”
林海眼睛一亮:“像打印机控制墨量一样控制元素沉积?”
“对!”杨波难得露出一丝兴奋,“但难点在于:第一,超高真空环境下,旋转动密封的可靠性,不能漏气,不能引入污染。第二,遮板的运动精度和速度,必须与工艺腔体内的等离子体分布、气压、温度场实时耦合控制,算法极其复杂。第三,多靶材长时间运行下的冷却和靶面侵蚀均匀性控制。”
“这些难点,有解决方案吗?”张明远推了推眼镜,问到了关键。
“有思路,没在这么复杂的系统上验证过。”杨波很诚实,“旋转密封,我们借鉴航天级的磁流体密封技术,但需要根据我们的尺寸和工况重新设计。运动控制,我们和浙大控制系有合作,他们的实时非线性控制算法在国内是顶尖的,但需要你们的工艺数据来训练和优化模型。冷却和侵蚀……需要大量的模拟和后续的现场调试迭代。”
他看向陆晨和林海,目光坦诚而炽热:“这就是赌博。赌我们的基础技术能经得起放大和复杂化,赌你们的工艺团队能和我们一起,在调试中把设备‘磨’出来。我们华真愿意把所有技术家底拿出来拼,但需要你们同样毫无保留的工艺知识输入,以及……容忍前期必然的失败和反复。”
陆晨没有直接回答,看向林海:“林海,你怎么看这个方案?”
林海已经盯着图纸看了很久,手指在桌面上无意识地划着轨迹。“杨总,双旋转靶加智能遮板……这个思路比克林格那台固定多靶位的设备更灵活,理论上限更高。但复杂度也高了一个数量级。一百天出样机……你们真的能搞定所有机械加工和总装?”
“机械部分,我们已经联系了国内最好的精密加工厂,有些关键部件,我们所长亲自去协调了。”杨波语气坚决,“图纸今晚最终确认,明天就下料。并行作业。我们拼的是,设计、加工、采购、预装、软件,五条线同时跑。你们的人,必须从设计评审阶段就介入,特别是工艺接口和控制系统逻辑。”
陆晨站起身,走到白板前,拿起笔:“好。我们赌。林海,从此刻起,你不再是燧人的工程总监,你是‘华真-燧人联合攻关项目’的燧人方总负责人。你需要什么人,从全公司抽调,包括我,随时听候技术支持。张老师作为首席技术顾问。李明恺带软件和控制团队介入。我们的人,明天就跟你去华真在苏州的工厂。办公室、住宿,沈总立刻协调安排。”
他写下“联合攻关项目”几个大字,在下面划出两条线:“杨总,我们燧人方承诺:第一,所有与这台设备相关的工艺知识,包括我们摸索出的参数窗口、失效模式、极限边界,全部向联合团队开放。第二,首批三台设备订单,只要第一台达标,后续订单立即签署。第三,设备成功后,我们共同申请国家重大装备专项,共享荣誉。”
杨波深吸一口气,伸出手:“陆总,痛快。华真这边,我立军令状:设计我亲自把关,加工我派最老的师傅盯,装配调试我睡在车间。一百天,不,九十五天!我把第一台样机拉到你们上海中试线!”
两只手紧紧握在一起。没有合同细节,没有法律条文,只有工程师之间最直接的承诺和信任。
深夜,燧人小会议室。
林海在快速点将:“王工,你跟我去苏州,负责机械接口和真空部分。小李,你控制专业强,跟紧浙大那边的算法团队。小赵,你专门盯遮板机构的设计和测试……”被他点到名的人,有的兴奋,有的面露难色。
一位年轻工程师犹豫了一下,举手:“林总,我老婆刚怀孕……去苏州常驻几个月,可能……”
林海皱了皱眉,还没说话,陆晨走了进来。
“家里有困难的,说出来。”陆晨声音平静,“这次任务特殊,强度会很大,周期也可能延长。公司不会让大家白付出。常驻人员,额外补贴按三倍算。家里老人、孩子、孕妇需要照顾的,行政部会组织定期上门帮扶。解决不了的实际问题,直接找沈总或者找我。”
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