王守仁点点头,没再说话,但从他紧抿的嘴唇可以看出,他对这个标准是满意的。
众人继续往里走。
厂房的核心区域,景象更加震撼。
这里将来会是Class 100甚至更高的超净环境,是芯片制造最核心的“洁净岛”。
但现在,它还像个巨大的、未封顶的“玻璃鱼缸”骨架。
巨大的金属框架已经搭起,高约三米,占地近两千平方米。
框架是用特制的铝型材组装而成,表面做阳极氧化处理,呈哑光的银灰色。
工人们正在框架顶部安装风机过滤单元。
那些单元每个约一米见方,外壳是不锈钢的,正面是密密麻麻的蜂窝状孔洞,那是高效过滤器的出风面。
工人们两人一组,用特制的吊具将单元小心地吊装到指定位置,然后用螺栓固定。
“一个单元多重?”国防科委的孙老问。
“连过滤器,大约八十公斤。”
孙老抬头看去。
头顶上,已经安装好的风机过滤单元有上百个,整齐排列,像一片银色的方格天花板。
未来,这些单元将像瀑布一样向下输送经过高效过滤的、最洁净的空气,在洁净区内形成垂直层流。
而此刻,工人们还在继续安装。
他们站在脚手架上,动作一丝不苟,仿佛不是在安装工业设备,而是在穹顶作画的工匠。
地面上的工作同样精密。
几十名工人正蹲在地上,用激光水准仪和特制的手持打磨机,处理混凝土地面。
未来的洁净区地面,将是水磨石或环氧树脂涂层,要求平整度极高,不能有任何裂缝、坑洼和起尘点。
“这里的要求是±0.1毫米/2米。”一名技术员指着手里的图纸对工人说,“现在是±0.15,还得再磨。”
工人点点头,关掉打磨机,换上一片更细的砂轮,重新开始。
打磨机发出低沉的嗡鸣,混凝土粉尘被吸尘器及时吸走。
工人蹲在那里,一下一下,动作稳定而耐心。
在洁净区外围,可以看到一个个浇筑好的独立混凝土基座。
这些基座比周围地面高出约三十公分,表面打磨得光滑如镜。
有些基座下面,已经预埋了巨大的弹簧隔振器,那是为光刻机、电子束曝光机等对微振动极其敏感的设备准备的。
每个基座旁都立着一块牌子,上面用红漆写着:
设备:GCA 4800DSW(光刻机)
荷载:12.5吨
水平度要求:±0.05mm/2m
防振等级:VC-A
负责人:张建国
“这个水平度要求……”计算机所的夏先生蹲在一个基座旁,用手摸了摸光滑的表面,“能达到吗?”
“现在实测是±0.03。”一名头发花白的老师傅抬起头,他手里拿着一台德国进口的精密水平仪,仪器用丝绸包裹着,只露出观察窗,“但我不敢保证设备放上去后还是这个数。混凝土有徐变,温度变化也会引起微变形。”
“那怎么办?”
“设备就位后,还要做最终调平。”老师傅认真地说,“我们预留了十二个调平地脚螺栓,每个都可以独立调节。到时候一点点调,调到合格为止。”
夏先生站起身,拍了拍手上的灰:“这得调多久?”
“看情况。”老师傅收起水平仪,“顺利的话,两三天。不顺利……可能得一个星期。这种精密设备,急不得。”
众人继续参观。
厂房里的声音复杂而有层次。
远处,混凝土搅拌车还在作业,发出低沉的轰鸣;钢筋切割机偶尔响起尖锐的啸叫。
近处,电动扳手紧固螺栓发出清脆的“哒哒”声;风管焊接的滋滋声持续不断;技术员用对讲机发布指令的声音清晰而简短。
偶尔,能听到老师傅用铜榔头“铛”地一声轻敲某个部件,声音在空旷的厂房里回荡,带着一种奇特的韵律感。
气味也很特别,给人的感觉是又“新”又“冷”,预示着未来无尘环境的要求。
新混凝土的微腥味、焊接产生的金属氧化物气味、油漆和环氧树脂的化学味、还有一丝淡淡的消毒水气味,那是为了防尘而喷洒的。
这里的施工队伍,也给人截然不同的感觉。
工人们穿着统一发放的工装,藏蓝色的棉布衣服,洗得发白,但干净整洁。
他们动作干净利落,分组作业,流水线般高效,很少大声喧哗。
很多人走路的姿态、干活时的习惯,都带有明显的部队转业人员的特征,腰背挺直,动作标准,服从指令干脆。
“这些是部队兵转业的300名士兵,其他的是正在培训中的1200名工人。”丘岩低声向孙老汇报,“都经过政审和保密培训。”
孙老点点头,目光扫过那些忙碌的身影。
除了工人,随处可见来自各协作单位的老专家和老师傅。
有的蹲在设备基础旁,用精密水平仪反复测量;有的对着管道图纸,和施工队长激烈而低声地争论;有的用粉笔在墙上画出复杂的示意图,向年轻技术员讲解要点。
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